Трехмерная многосенсорная система позиционирования и измерения с высочайшей точностью.

Режимы работы:
1. В качестве динамической системы позиционирования.
2. В качестве системы измерения, работающей в режиме непрерывного сканирования или пошаговом режиме.

Области применения:

- позиционирование, манипулирование, обработка и управление объектами в области микромеханики, микроэлектроники, оптики, молекулярной биологии и микросистемной инженерии с точностью до нанометра в большом диапазоне

- измерение точных деталей, таких как наконечники датчиков твердости, мембраны и микролинзы

- калибровка эталонов высоты ступени и наклона в продольном направлении

Описание машины для нанометрического позиционирования и измерения серии NMM-1 (353 Кб)