Трехлучевые интерферометры серии SP-TR объединяют три интерферометра в одном устройстве и, таким образом, позволяют одновременно проводить измерения длины по трем координатам с точностью до нанометра.

Области применения:

- лазерно-нтерферометрические измерения на направляющих и предметных столиках микроскопов, столиках для позиционирования и поступательного перемещения

- корректировка углов наклона в продольном и поперечном направлениях во время двухкоординатных и многокоординатных измерений перемещений

- калибровка метрологического оборудования и станков

- дифференциальные измерения (дилатометрия, испытания материалов)

- угловые измерения в расширенном диапазоне (> ±2 угловые минуты; на заказ)

Описание интерферометров серии SP-TR (315 Кб)