Выполнение сверхточных измерений перемещения, разности и угловых измерений.

Предназначены для встраивания в системы заказчика и используются для одновременного измерения двух перемещений с точностью до нанометра посредством двух параллельных измерительных лучей.

Области применения:

- выполнение измерений на плоских столах, предметных столиках микроскопов, системах позиционирования, координатно-измерительных машинах или станках

- одновременная корректировка угловых погрешностей на двухкоординатных и многокоординатных координатно-измерительных машинах

- измерения разности

- исследования деформаций

- бесконтактное измерение шероховатости поверхности

- испытания материалов, например, дилатометрия

Описание интерферометров серии SP-D (330 Кб)